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激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。稀有氣體離子激光中，以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外，氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。

重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質(zhì)，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準分子不會天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時形成的。一方面氬激光很少見，另一方面為了便于稱號，人們常將氬離子激光簡稱為氬激光。不光中文敘說如此，英文文獻亦見此用法，所以在不致混雜的時候，仍可用氬激光稱號氬離子激光。激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。

目元激光混合氣體的方案組成比例：CO:4%,CO2：8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機床達到的輸出功率，并且切割鋼板厚度達到25mm，還可以更好的保證工件質(zhì)量。中性原子激光與離子氣體激光的差別，在于前者的激光光來自中性原子能階之間的躍遷，后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此，氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同，前者的激光光波長屬于紅外線波段，后者則在可見光和紫外線區(qū)。激光切割機用的激光混合氣體，二維激光切割機床用的四元激光混合氣體，主要用于鋼材的鈑金加工。

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